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废气不能随意排放到空气中，尤其是VOC超标的废气，目前降低VOC的方法有：活性炭吸附法，水喷淋法，活性炭吸附法，甚至分子筛法等，有机废气一般都存在着易燃易爆、有毒有害等多种不利因素，并且大部分的有机废气都不溶于水以及有机溶剂中。
ITO是直接焚烧法是目前引用较为广泛的方法。rto废气处理原理是在高温下将可燃废气氧化成对应的氧化物和水，从而净化废气，并回收废气分解时所释放出来的热量，废气分解效率打到99%以上，热回收效率达到95%以上。
借助燃气或燃油等辅佐燃料焚烧废气，回收利用反应释放的大量热能，将混合废气加热到反应温度，一般在700—800℃，在焚烧炉充分燃烧，焚烧废气中的可燃有害气体。该工艺的处理原理简单、设备建设成本较少，适用于处理高浓度小风量的喷漆废气，但是处理耗能较大、运行成本也比较高。
VOC气体既有挥发性，也有可燃性，因此需要检测其可燃性和VOC浓度，用于保证其安全。
一般采用德尔格气体检测仪，德尔格红外可燃检测仪，具有反应快，反应时间仅需1秒，检测准确等优点。
采样系统根据客户的实际情况，进行定制。
客户需提供以下信息：
气体的组成成分。
管道温度
管道湿度
管道压力
管道粉尘
是否提供仪表风功能。
以及客户环境。
原理是将有机废水雾化、废气喷入焚烧炉，通人供给氧气(空气)和助燃燃料后点火燃烧，完成废弃物的氧化热解处理。在多晶硅废气、废液处理中，采用高温焚烧将废气、废液转化为HCl、SiO2、CO2及水蒸汽等产物，再通过对焚烧产物的深度处理和物料收集，实现无害化、资源化处理。
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